二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293759466 待售

ID: 293759466
晶圓大小: 8"
Etcher 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種先進的沈積設備,設計用於廣泛的過程,從高精度薄膜到介電薄膜、光刻膠薄膜,以及用於電子、光學和其他應用的其他特種薄膜。AMAT P-5000提供了控制過程變量的完全靈活性,並具有具有高性能等離子體源和優化基板處理的高級PECVD腔室,以及高精度的自動基板定位系統。APPLICED MATERIALS P 5000的工藝解決方案經過量身定制,可提供更好的均勻性和步長覆蓋,降低電阻率,優化應力。它提供了先進的吞吐量、均勻性和晶片到晶片的可重復性。P5000允許加工各種材料,包括矽、砷化銨、氮化氙和磷化銨。除了改進的均勻性和步進覆蓋優勢外,P 5000還提供了增強的過程控制,可確保所需膠片的準確性和可重復性。其自動自適應過程控制算法提供了對沈積參數的實時訪問,使用戶能夠根據薄膜標準調整沈積條件,保證了所需的結果。此外,AMAT P 5000還允許操作員在薄膜沈積過程中切換腔室尺寸、類型和材料組成,從而提供了額外的靈活性。該裝置還具有先進的自動基板處理子系統,具有自動索賠檢查機、溫度控制和特殊材料的特殊氣體處理功能。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應堆專為高速運行而設計,符合所有相關半導體行業環境法規。它配有清潔空氣過濾和防止操作過程中發生化學反應的不銹鋼鈍化表面。與傳統的濺射和熱蒸發等沈積方法相比,應用材料P-5000在制造薄膜結構方面具有顯著優勢。APPLICED MATERIALS憑借其高性能等離子體產生源和優化的底物處理,P5000提供了均勻性和覆蓋率,改進了膜控制,提高了吞吐量。P-5000用於各種行業,包括電子、光電子、光子學、數據存儲、醫療等。
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