二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293765825 待售

ID: 293765825
CVD System (3) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種化學氣相沈積(CVD)設備,設計用於大批量制造先進半導體產品。AMAT P-5000是一種創新、高效、可靠的多腔生產系統,可以生產出極高質量的晶圓、晶體管和微器件。APPLIED MATERIALS P 5000利用全自動並行生產過程,實現了高吞吐量和提高產品質量。其高速機械臂提供精確、合規、可重復、高效的材料沈積,達到最佳生產效果。它配備了一個最先進的主動過程監測單元,跟蹤過程參數並檢測超出公差的條件。此外,該機器最多可配置四個處理室,從而提供滿足特定客戶要求的靈活性。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000的超高真空沈積工藝可以為各種基材提供優異的均勻性和性能。真空工具由幾個部件組成,包括一個8英寸礦物絕緣閘閥、一個渦輪分子泵和一個離子泵。所有這些組件的設計都是為了阻擋反應性殘留氣體,同時提供有利的低壓環境,使材料的沈積更加光滑高效。沈積過程本身由強大的旋轉式淋浴頭、菱形尖端噴射器和旋轉式環狀噴射器驅動。淋浴頭有助於沿晶片表面保持均勻的發射率。金剛石尖端噴射器可以為較厚的層層提供較高的材料沈積速率。最後,旋轉式回路噴射器有助於保證沈積過程均勻。這三種沈積方法都保證了工藝的均勻性和可重復性,從而提高了層厚的均勻性。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有業界領先的流程合規性資產,可實現最佳流程結果。此高級流程監控模型提供實時流程跟蹤和故障檢測。它還通過提供任何工藝參數超出公差條件的反饋來幫助保持生產一致性,這些條件可能導致產量下降或報廢率提高。總而言之,AMAT P5000是一種通用、可靠和可靠的CVD工具,用於大容量半導體產品制造。APPLICED MATERIALS P-5000具有高速度的生產能力、優異的沈積均勻性和工藝控制能力,是優質產品的理想解決方案。
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