二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293774678 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種在晶圓或基板上處理和沈積高k介電或半導體材料的工具。這種反應堆系統是半導體制造、研發實驗室、大學常用的獨立設備。AMAT P-5000有一個不銹鋼室和一個石英工藝室，使其能夠運行濕法過程，如化學氣相沈積（CVD）和原子層沈積（ALD）。石英板用於將基板從負載鎖輸送到加工室。基板保持機構包括兩個用於夾緊的電極和兩個用於提升的電極，允許在沈積區中心精確放置基板。過程氣體通過質量流控制器送入腔室。APPLICED MATERIALS P 5000反應堆還有一個內置的渦輪泵，可以用來從反應物室中排出反應性氣體和冷卻水系統來控制腔室溫度。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000反應器使黑色金屬能夠沈積，包括鎢、銨、鈦、鈷和的。也適用於介電或半導體材料的沈積，如氧化ha、二氧化鋅、氧化鋁等。AMAT P5000反應器被設計為使用幾種不同類型的工藝氣體，如的移氣、氮氣和甲烷，以產生所需的化學反應並形成所需的膜。總體而言，APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor是一種用途廣泛、功能強大的工具，用於在基板上沈積高k介電或半導體材料。其不銹鋼室和大型石英工藝室使其成為濕法工藝如CVD和ALD的理想選擇。其溫度控制、底物保持機理、質量流量控制器和渦輪泵對於產生所需的化學反應和薄膜至關重要。AMAT P 5000反應堆是制造半導體材料的寶貴工具。
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