二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293811641 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種支持多種沈積和蝕刻工藝的高性能外延反應器。它旨在為半導體器件制造提供超高質量的外延沈積。該機具有強大的5kW電子回旋共振源，保證了高性能和重復性。AMAT P-5000反應堆能夠以高效可靠的方式執行復雜的過程。APPLICED MATERIALS P 5000具有五室設計，允許獨立或同時處理多個工藝步驟。反應堆由一個石英襯砌的雙端鐘形罐子構成，裏面裝有底物。設有雙動閘閥、石英橋接平臺、溫控工藝室。內置的溫度控制和均勻系統有利於準確控制基板加熱，優化工藝效果。P 5000采用模塊化設計,為用戶提供多種優勢,包括低成本和卓越的操作。此外，反應堆還具有一系列缺陷檢測和實時過程控制系統，旨在識別和快速糾正錯誤。此外,P-5000還具有最先進的安全功能,可防止意外的壓力或溫度升高。AMAT P5000反應堆以直觀的布局提供先進的過程控制，使操作員能夠輕松查看和控制多路源、溫度和壓力。軟件還支持配方功能，允許用戶為每個流程步驟開發特定配方。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000是一種高性能的電化學外延沈積反應器，設計用於先進的半導體器件制造。它具有強大的5kW電子回旋共振（ECR）源、五室設計、雙端鐘罩和幾個過程控制系統。反應堆可選擇具備專門的安全特性和實時過程控制能力，與不同的底物兼容。APPLIED MATERIALS P-5000使用戶能夠快速、準確地執行復雜的過程,並獲得出色的結果。