二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293823309 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是AMAT, Inc.設計制造的一種多磁控管射頻並聯板電容耦合等離子體（CCP）反應器。這種高度先進的反應堆設計用於各種高密度等離子體（HDP）工藝技術，如蝕刻、沈積和半導體器件制造。該反應堆通常用於研究和商業應用，能夠對各種材料類型進行高通量、精確和可重復的處理。這樣可以比傳統方法節省成本,並確保結果的一致性。AMAT P-5000反應堆是一個三室設備，具有射頻功率模塊，主室，泵和。射頻電源模塊包含主射頻發生器、匹配網絡、優化阻抗調諧器等電氣設備。匹配網絡將從天線到發射器的信號匹配起來，保護和優化射頻發生器的輸出。這一要素特別重要，因為它確保了一致的、可預測的射頻功率。優化的阻抗調諧器包括可用於即時調諧的自動調諧器功能，用於在處理過程中向天線提供最大功率傳遞。APPLIED MATERIALS P 5000反應堆的主室容納固態天線組件。該組件由三個線圈組成，安裝在三個獨立的支柱上，設計用於在室內傳播等離子體，同時覆蓋整個表面積。通過線圈的精確放置和平行板的使用，天線產生了非常薄甚至羽狀的高密度等離子體。天線場強度是可調的，以增加或降低等離子體強度，允許沈積、蝕刻、鍵合等過程以更大的控制來進行。主室也是氣體輸送系統的所在地，該系統可以向該室註入和混合多種氣體。這種氣體輸送裝置旨在創造一個可以進行等離子體加工的均質和穩定的環境。此外，APPLIED MATERIALS的主室P-5000容納各種航空級材料和絕緣材料，確保高質量的建築和耐用性。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000反應堆的泵機負責在過程完成後從腔室中清除顆粒和氣體。水泵工具是反應堆最重要的部件之一，因為如果沒有適當的氣體和顆粒泵，就會有有限的可重復性和巨大的等離子體損耗。泵的資產高度先進，包括可調節的泵速率和對顆粒的速度控制，以及針對不同泵速度的多個氣體控制閥。P 5000反應堆是一個高度先進的加工模型，建立在實驗和生產過程的心目中。APPLICED MATERIALS憑借其強大的射頻功率模塊和優化的阻抗調諧器、多磁控管天線以及高效的氣體和粒子泵設備,P5000能夠以傳統方法的一小部分成本產生一致、高質量的結果。此外，反應堆可以很容易地針對特定的工藝進行定制，使其成為用於許多研究和商業應用的最佳選擇。