二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9005018 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種基於等離子體的幹蝕刻設備,設計用於在各種高級應用中提供均勻且可重復的材料蝕刻。它是一種單晶圓微反應器，能夠以快速可靠的方式支持表面清潔、層蝕和介電蝕刻等與蝕刻相關的過程。作為一個微型反應堆，AMAT P-5000還有助於經濟高效地生產復雜的模式和復雜的設備結構，具有高度的均勻性和可重復性。具體來說，它能夠高效生產超淺設備特性，深度可達10納米，運行變化小於2納米。這一級別的控制是由APPLIED MATERIALS P 5000的基於等離子體的幹蝕刻技術啟用的。P 5000利用低溫冷卻等離子體源、驅動範圍匹配網絡和電子範圍源功率來產生和維持無雜質的穩定蝕刻等離子體。通過這些組件的組合,P5000能夠確保高度統一的自下而上的蝕刻以及高精度的特征陣列,從而提高設備產量並降低成本。AMAT P 5000還與單晶片和盒式/集群配置兼容，能夠協商廣泛的材料，包括矽、移動物、砷化移動物和鋁。這與簡化的腔室和模塊化設計相結合,使其成為降低成本的理想選擇,同時仍能提供一致的結果。此外，P-5000內置了集成Vac系統等安全功能，確保了安全和受控的工作環境，同時消除了不希望的氣體泄漏機會。同樣,該單元還具有機器監控、過程控制和自動配方構建功能。總之，APPLIED MATERIALS P5000是一種創新和直觀的微型反應堆，能夠為各種先進應用高效和精確地蝕刻材料。它具有統一和可重現的蝕刻功能,加上高精度的特征陣列和可靠的安全功能,使其成為任何尋求高質量性能的組織的一種功能強大、經濟高效且可靠的工具。