二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9027761 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9027761
晶圓大小: 6"
優質的: 1991
CVD SiN system, 8" (4) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為生產半導體晶片而設計的先進工藝反應器。其特點包括加熱外殼、變速氣體輸送設備和溫度控制。反應堆的外墻由無毒合金制成,其設計目的是抵抗腐蝕,保持反應堆內部穩定。采用變速氣體輸送系統優化不同氣體向基體的流動。這樣可以提高沈積速率,從而產生所需的薄膜類型。AMAT P-5000設計用於在一定溫度和壓力範圍內運行。它有一個可調的熱循環器,可根據基板的熱要求進行調整。熱循環器還為基板提供溫度控制元件。APPLICED MATERIALS P 5000通過其快速響應脈沖熱控制器提供更均勻的沈積速率和改進的溫度控制。這項技術有助於確保一致和可重復的結果。該裝置還包括一個壓力監測器,用於監測沈積過程中的基板溫度。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000還具有一個工藝控制機器,該機器設計用於監測沈積過程中基板的均勻性。這樣就可以根據特定應用程序定制流程。除此之外,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000還采用閉環控制技術,比傳統方法提高了精度。此高級過程控制工具可提高產品質量並優化產量。P5000的整體尺寸和重量相對較小和輕巧,非常適合廣泛的制造和研究應用。對於需要能產生可重復可靠結果的先進工藝反應堆的半導體和光電制造商來說,這是一個理想的選擇。
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