二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9037975 待售
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ID: 9037975
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
PECVD System, 8"
Process: SA-BPSG
TEOS with (3) CVD Chambers
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種化學氣相沈積（CVD）平臺，提供卓越的自動化和過程控制能力。AMAT P-5000包括允許快速、可重復和穩定高溫沈積的自動化過程控制和腔室控制子系統。這項功能增強了對表面特性、薄膜厚度和均勻性的控制,並提高了工藝產量。APPLICED MATERIALS P 5000可用於金屬、金屬合金和金屬氧化物層，也可用於碳、氧化矽或氮化矽的沈積等屏障層應用。反應堆的高溫範圍可達1200 °C。該系統同時支持LPCVD（低壓、化學氣相沈積）和PECVD（等離子增強CVD）。反應堆具有自動化過程控制器、兩級渦輪分子泵、多個氣流控制器和質量流控制器。APPLICED MATERIALS P-5000允許對沈積協議進行精確控制,並允許進行高級基材處理,如蝕刻、退火、氧化物沈積和金屬提升。它還包括各種先進的拋光技術，允許優越的表面光潔度和增強的地形。該系統可以輕松地與現有的生產環境集成,從而提供了既有時間又有成本效益的高效解決方案。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一個堅固可靠的系統，能夠生產優質的薄膜和基材。其自動化能力和過程控制功能已被證明在制造高精度光學、微電子和其他元件方面是無價的。低維護和易用性使其成為研發實驗室和制造環境中的理想工具。
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