二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9056845 待售
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已售出
ID: 9056845
晶圓大小: 6"
CVD System, 6"
Software rev. E5.03
(4) Chambers:
(2) TEOS deposition chambers
(2) TEOS etch chambers
Currently crated.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高端、高性能的蝕刻反應器,被先進的半導體制造商用來制造集成電路。它是一個高壓高溫蝕刻反應堆,旨在解決與縮放最新集成電路的微觀和納米結構有關的問題。AMAT P-5000采用雙頻晶片卡盤分別定位和夾緊晶片。這樣可以實現更高效、更準確的蝕刻處理。此外,反應堆還配備了多色調飛行時間質譜儀(TOFMS),用於精確控制蝕刻過程。這保證了蝕刻沈積控制在納米水平。APPLICED MATERIALS P 5000還采用高效射頻發電機和射頻電源,在蝕刻過程中顯著降低功率損耗。AMAT P5000利用先進的自動化系統對蝕刻過程進行精確監測。這包括用於處理過程中蝕刻直接可視化的高清數碼相機,以及用於精確控制蝕刻室和晶圓卡盤運動的高端視覺和制導系統。此外,該反應堆利用先進的數據采集和處理系統對蝕刻產物進行精確分析。P 5000配備了全套傳感器技術,包括紅外、紫外線和可見光譜、成像、粒子計數等。這樣可以快速準確地表征蝕刻產品。而且蝕刻室還配備了超快溫度測量,確保了對腔室溫度的精確控制。總之,APPLIED MATERIALS P5000是一種高端、高性能的蝕刻反應器,非常適合用於先進的半導體制造。它包括先進的自動化和精確的控制能力,允許生產經濟高效和準確的集成電路。
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