二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9069051 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為高級半導體應用而設計的物理氣相沈積(PVD)反應器。它為研究和開發應用以及批量生產需求提供了一個可靠和經濟高效的平臺。AMAT P-5000 PVD設備由四個主要部件組成:一個機械殼體、一個真空室、一個氣線組件和一個等離子體控制單元。為便於過程控制,系統配備了高級觸摸屏圖形用戶界面(GUI)。此圖形界面允許操作員根據個別工藝需求輕松配置APPLIED MATERIALS P 5000。P-5000的超耐用不銹鋼機械殼體提供了清潔的真空環境,以實現最佳的工藝精度和性能。設有一個單門入口,方便進入真空室內處理的材料。綜合氣體輸送裝置允許制造環境所需的工藝氣體的優化流動。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000真空室采用先進的多壁結構,高效可靠。這種多壁結構可以顯著提高導熱系數,提供最佳的均勻性和一致可重復的晶圓生產結果。APPLIED MATERIALS P-5000的等離子體控制單元配備了多種強大的自動化功能。這包括控制晶圓流、啟用自我診斷、配置流程配方和啟用手動控制的功能。該單元還包括一個獨特的自動調平功能,以確保最準確的沈積結果。最後,AMAT P5000配備了一系列安全功能,以保證機器的安全運行。這包括自動關閉工具、緊急非循環保護和可選的一氧化物保護。總體而言,AMAT P 5000旨在為高級半導體應用提供高效、可靠和經濟高效的平臺。該資產非常適合研發應用以及批量生產需求。它配備了一系列先進的功能,以確保一致的可重復晶片生產成果和安全高效的操作。
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