二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9077991 待售

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ID: 9077991
晶圓大小: 8"
Nitride PARC PECVD system, 8" (4) CVD Chambers (4) Heater lamps Gas Showerhead box Wafer sense Robot Storage elevator Ergo cassette loaders Unit 1660 MFC’s (4) RF Matching networks (4) ENI RF Generators DMC Rack Lamp modules Electrical and pump rack RIF Rack (2) EDOCS With rack Mini controller Monitor rack Heat exchanger MFC Tool cables Missing: Some process kits Mouse Manual.
AMAT/APPLICED MATERIALS P5000反應器是一種先進的化學氣相沈積設備,設計用於高精度的薄膜沈積。這種通用工具非常適合電介質、金屬、氧化物、氮化物和多晶矽層的沈積。AMAT P-5000具有很高的吞吐量和優異的均勻性,是最適合要求苛刻的沈積應用的工具之一。應用材料P 5000反應器在大晶圓表面上具有優異的均勻性和均勻性.它配備了允許快速沈積速率的大功率電子束槍。這種電子束槍以高達5000瓦的功率運行,這意味著沈積過程可以快速完成,並具有優越的均勻性。APPLIED MATERIALS P-5000的靈活性允許用戶同時調整時間和電源設置,以實現最佳影片質量。系統裝有平底設計的陶瓷室。這種設計增加了沈積過程的均勻性,並確保了薄膜的厚度一致。平底設計還消除了內部機械反射,消除了陰影,確保了完美的均勻性。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應堆使用高純度、高純度的原料進行沈積。其原位氣體輸送裝置是為精確控制腔室條件而設計的,確保在腔室空間內有精確數量的原料,以獲得最佳的工藝穩定性。還提供各種標準和定制配方,以優化電介質、金屬、氧化物和多晶矽層的沈積。在安全性和性能方面,P5000反應堆配備了各種安全系統。其中包括電力監測機、鹵素氣體監測儀、氣體排放資產、壓力泄漏探測器和流量監測儀。此外,P-5000反應堆還配備了先進的監測模型,提供有關腔室狀況和性能的實時信息。AMAT P5000反應器是一種多功能、可靠的薄膜沈積工具。P5000具有高吞吐量和優異的均勻性,具有卓越的沈積能力和廣泛的工藝選擇。這種功能強大的工具非常適合要求苛刻的沈積應用,可以處理高純度、高純度的原材料進行沈積。AMAT P 5000是一種先進的工藝工具,設計精密和優化膜沈積。
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