二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9081365 待售
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已售出
ID: 9081365
優質的: 1994
System
(2) Chambers
Process: SIO2-depos/SiN depos/ BPSG
Chemicals:Silan/N2O/NH4,PH3,C2F6,B2H6
(1) Pump
(1) Chiller
Software Rev.: B5.01C
CE Marked: no
(3) 208V
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種先進的、生產規模的蝕刻反應器,用於制造薄膜磁性記錄介質。這一設備設計為蝕刻圖樣成薄膜材料的高精度和精確度。AMAT P-5000利用多種不同的技術來有效蝕刻薄膜材料。APPLIED MATERIALS P 5000使用離子束蝕刻(IBE)和射頻(RF)蝕刻技術的組合,以達到其期望的效果。離子束蝕刻利用一束加速離子束在薄膜材料中刻分圖樣,而射頻蝕刻技術則用於在單個/多個離子束曝光內實現更精確的聚焦輪廓。這兩種技術結合在P 5000中,以獲得最大的結果和最高的精度。APPLIED MATERIALS P-5000還包括一個可編程嵌入式交流驅動馬達,用於精確控制薄膜材料的蝕刻和曝光過程。該電動機用於控制薄膜材料的光束放置和曝光。交流驅動電機還控制容納離子束源和曝光區域的級和軌跡的運動。這確保了薄膜材料暴露於所需的正確和精確的離子束暴露量。AMAT P5000還具有先進、用戶友好的軟件,可幫助監控、操作和控制整個離子束蝕刻過程。該軟件旨在為用戶提供清晰的工藝控制界面,使他們能夠監控和設置薄膜材料蝕刻的參數。軟件還針對蝕刻過程中可能出現的任何錯誤或問題提供錯誤監視和報警系統。最後,P5000還包括一系列安全功能,以實現最大程度的易用性和保護。從多個聯鎖到復雜的監控系統,APPLIED MATERIALS P5000在進行蝕刻操作時提供了高度的安全性。這些特性確保了蝕刻操作的精確度和安全高效地完成。最後,AMAT P 5000是為制造薄膜磁性記錄介質而設計的高精度、生產規模的蝕刻反應器。結合離子束蝕刻和射頻蝕刻技術,P-5000是精密、精密蝕刻薄膜材料的理想工具。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000包括可編程嵌入式交流驅動馬達、先進的用戶友好軟件以及多項安全功能,為操作員提供保護和舒適。
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