二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083278 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種先進的等離子體增強型化學氣相沈積(PECVD)反應器,旨在提供各種表面處理中的精確溫度控制、超快材料沈積和沈積過程控制。AMAT P-5000非常適合薄膜沈積、表面功能化、表面工程和半導體加工等應用。APPLIED MATERIALS P 5000具有創新的雙區域等離子體源,可以精確控制腔室、基板和目標材料的溫度。精確的溫度控制保證了快速、可重現的沈積速率和最小應力。P5000還提供了對等離子體能量的精確控制。這允許在目標表面上定制能量分布,從而進一步增強沈積過程。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000可用於將導電材料和非導電材料以幹式或濕式形式沈積。它具有從低到超高的可調壓力範圍,允許精確控制沈積過程。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000還具有較大的基板區域,可以制造復雜的結構。APPLIED MATERIALS P-5000包含各種高級診斷和過程控制。探頭設備使用戶能夠分析和監測沈積過程中的反應性離子蝕刻。分析系統允許實時監測沈積過程以及產生診斷和控制。過程控制模塊允許反應堆參數的快速調整,使用戶可以在旅途中進行過程更改。此外,AMAT P5000還配備了一個自動沐浴晶片傳輸單元,使晶片能夠被運輸和自動處理。這臺機器還能夠處理直徑或厚度較大的晶片。浴具能夠自動清洗和沖洗晶片,以增加安全性。AMAT P 5000是高精度沈積和表面工程應用的理想解決方案,因為它為用戶提供精確的溫度控制、快速的沈積速率以及先進的診斷和過程控制功能。
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