二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083281 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9083281
優質的: 1995
PECVD system Process: SiO4, SiN 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是等離子體處理應用的高性能解決方案。用於半導體和微電子行業的蝕刻、沈積、薄膜生長等先進操作。AMAT P-5000使用1300瓦射頻功率來操縱封閉室內的等離子體環境。通過使用質量流控制器應用材料P 5000能夠精確調節腔內溫度和壓力,確保更一致的工藝結果。包括在內的通用磁性碎片清除系統(UMDRS)有助於通過從等離子體中清除不良微粒來提高工藝效率。APPLIED MATERIALS P-5000具有靈活的模塊化設計,可以輕松定制以滿足特定的客戶需求。一系列的選項,包括射頻偏置和電子回旋共振(ECR)泵,可進一步完善過程控制。它還配備了一系列流程監測和控制系統,向最終用戶提供有關其流程的實時信息。其中包括用於蝕刻的反應速率控制器、用於沈積的表面剖面分析系統以及用於反應堆的高精度質量流量控制器。AMAT P 5000的嵌入式智能過程控制器(IPC)可幫助用戶即時調整室內參數。這種直觀的控制器使用戶能夠快速創建和運行可重復的流程,而實時流程監控可確保最高級別的流程一致性和質量。P500還利用AMAT先進的4基板探測系統,用戶可以分析其基板的精度達到納米級。P500還配備了強大的軟件工具,如APPLIED MATERIALS Manufacturing Suite (AMMS),它允許工程師存儲、監視和管理關鍵流程數據。AMMS為最終用戶提供了一個全面的工具集,以實時跟蹤和比較流程性能。然後,平臺的數據驅動分析允許工程師快速調整參數,以最大限度地提高產量和工藝效率。簡而言之,AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000 Reactor是先進等離子體處理應用的強大、精密的解決方案。AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000具有可定制的模塊化設計、先進的工藝監控系統和強大的制造軟件,旨在幫助用戶提高工藝質量和可重復性。
還沒有評論