二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083283 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是為先進材料和薄膜沈積而設計的最先進的設備。它利用電子束增強化學氣相沈積（EBCVD），這是一個化學過程，利用電子束的能量將多層薄薄的材料層在基板上，將反應性氣體分子解離成與基板反應並覆蓋的原子。AMAT P-5000是一個單晶片13.56 MHz射頻發電機供電的管狀反應堆。具有高密度等離子體均勻沈積特點，適用於各種先進材料沈積應用。該系統包括用於沈積速率控制的雙區熱壁電子束槍，以及增強功率ARC+特性，提高了沈積速率和均勻性。「增強型熱通道」功能允許整個基板具有高溫均勻性。冷壁射頻控制石英工藝室具有5英寸和7英寸晶圓吊艙以及4英寸選項，提供快速晶圓更換。該裝置提供柔性膜沈積，因為它的設計支持各種材料和沈積技術。例子包括金屬化、CMP和氧化/氮化。大型滑出式低維護電子束源固定器可實現快速輕松的維護,節省時間和成本。該機還提供用於控制沈積過程的高級接口，並提供對沈積輸出、晶圓溫度和其他參數的特殊監控。應用材料P 5000反應堆的設計考慮到安全和用戶方便.該工具的安全功能包括氧氣和氣體關閉資產、潔凈室訪問控制以及遠程監控和警報功能。此外,該模型與許多沈積附件兼容,從而可以更輕松地集成組件,如負載鎖、工作站和虛擬基板。總體而言，AMAT P5000反應堆為先進的材料沈積提供了可靠、通用的平臺。該設備具有高性能和易用性，為尋求高質量沈積系統的人們提供了一個很好的解決方案。