二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083285 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一個最先進的反應堆，設計用於半導體、納米電子和MEMS行業的先進研究和最先進的制造工藝。這種先進的加工工具旨在將獨立的化學機械拋光和平面化的靈活性與先進的蝕刻和沈積能力相結合。AMAT P-5000可用於創建各種特征尺寸,膠片厚度在1至10微米之間。設備配備了單晶片和批處理能力，使其能夠提供最高水平的工藝靈活性、效率和成本效益。反應堆可以處理尺寸達300毫米的基板，以及厚度在200毫米至150毫米之間的晶圓。此外,該系統的最大處理壓力為8 bar,可調節射頻頻率高達25MHz的功率和氣體輸送頻率。APPLICED MATERIALS P 5000具有精密的溫度控制以進行精確的過程監控、可變的等離子體源組合以獲得最佳的氣體通量、改進蝕刻的自動諧波等離子體控制、多資源高水平的基板處理以及最新的高科技基板晶片技術等多個特點。此外，反應堆還配有一個緊湊的腔室，使機組能夠在密閉空間內高效運行。APPLIED MATERIALS P5000也提供了許多優於傳統批處理系統的優勢。該機器能夠產生各種材料特性，對溫度、壓力、工藝時間和氣體成分進行全面控制。此外,該工具還具有改進蝕刻的自動諧波脈沖控制.這種先進的處理工具允許用戶以更高的精度創建薄膜層，同時保持最高質量和工藝一致性。此外,該資產還提供多種安全功能,例如內置安全機制、多層絕緣材料和可靠的泄漏檢測模型。總體而言，P5000是一個極其先進的反應堆，旨在為行業領先的過程提供最高水平的過程控制和靈活性。這座強大的反應堆提供了多種特性，包括精確的溫度控制、可調節的射頻頻率以及廣泛的安全特性。設備堅固可靠，效率和成本效益最高。