二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083287 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9083287
優質的: 1996
PECVD system Process: SiO8, SiN 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種具有生產能力的反應器,非常適合先進的材料沈積和蝕刻加工。可用於III-V和多層薄膜沈積、電子器件制造、半導體器件制造以及MEMS、LED、金屬化等先進半導體技術等應用。AMAT P-5000具有廣泛的功能,可以處理各種材料。它有一個較低的壓力系統,能夠處理高介電基板,高真空處理高達9.5 x 10-7 Torr,允許非反應性的,非常低的壓力沈積。它具有多種高電流、高電壓選項,能夠在600°C的溫度下精確加熱基板,是制造高性能設備的理想工具。APPLICED MATERIALS P 5000系統是一種用於高級蝕刻和沈積應用的強大工具。反應堆室是一個圓柱形設計,以確保一個統一、一致的過程,使材料過程,如深熱退火,點火速率閉環控制,次秒等離子體啟動,脈沖蝕刻和沈積過程。它還提供各種控制選項,以實現最佳的靈活性和流程準確性,包括數據采集和實時流程監控。APPLIED MATERIALS P5000設計為模塊化的自動化系統,具有多種選項,可加快材料沈積和蝕刻過程。它具有自動化的樣品進出過程,以及允許快速運輸和裝載樣品混合物的機器人技術。這種自動化使得它成為各種生產過程的衛生和安全選擇。此外,P-5000還可以升級,增加一系列組件,如質量流量控制器和冷藏循環裝置,以提高性能。總體而言,AMAT P 5000為高級蝕刻和沈積工藝提供了可靠、通用的平臺。憑借其無與倫比的性能能力,AMAT P5000反應堆可以作為一個極其強大的工具來滿足一系列材料加工要求。
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