二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083304 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是已獲得AMAT專利的高性能等離子體蝕刻反應器。它是一種最先進的設備，能夠對集成電路和其他電子元件進行微加工。該反應器的設計目的是為制造集成電路和其他微器件進行有選擇的蝕刻和沈積過程。它利用高頻無線電波和反應氣體的混合，做出精確的蝕刻和沈積結果。該反應堆能夠進行最具挑戰性的等離子體蝕刻和沈積過程，具有高度的精確度和重復性。AMAT P-5000建立在等離子體蝕刻反應堆的最新先進技術基礎上.它采用了低頻等離子體源，允許對等離子體進行極精確的控制和極好的均勻性，從而更好地定義特征和改進工藝時間。反應堆延長的工作體積在大規模生產時也提供了更大的吞吐量和效率。APPLIED MATERIALS P 5000等離子體蝕刻反應器具有二次電離來源，如離子束、電子和紫外線，可用於提高特征分辨率和工藝速度。先進的雙通道等離子體源提供正負離子，允許精確的蝕刻控制。該工藝中使用的各種反應性氣體還允許可定制的蝕刻工藝，該工藝可根據任何特定工藝的要求量身定制。反應堆還裝有四基射頻屏蔽系統，提供平衡可靠的等離子體環境，不受外界幹擾。該系統采用了與微孔基板相互連接的層狀表面，提供了有效的遠場屏蔽和最小的熱點溫度。P5000等離子體蝕刻反應堆是同類中最先進的系統，以最大的魯棒性和可靠性提供了最佳的工藝效果。其尖端的設計和定制工藝的能力使其非常適合廣泛的半導體應用，例如高速數字和模擬元件的生產。