二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083306 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種多功能反應堆,設計用於處理半導體材料。它專為氣相生長和蝕刻應用而設計，為晶圓制造提供了可重復、可靠的工藝。AMAT P-5000反應堆基於模塊化設計，帶有一個可選的二級腔室，用於更加復雜和定制的過程。它也是為了滿足單晶片加工的需求而設計的。APPLIED MATERIALS P 5000的核心組件是Multi-module Controller，它為各種操作參數的監控提供了一個全面的平臺。控制器用於加載和卸載晶片和氣體，以及監測壓力、溫度和流量。此外,它還可以通過調整操作參數來微調過程。APPLIED MATERIALS P5000設有一個電阻加熱區和一個執行處理室主要功能的射頻感應區。加熱區提供均勻、較高的溫度，而較低的溫度則由射頻感應區提供。這兩個區域都具有處理超壓、真空和強制排氣的能力,以實現定制的工藝功能。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000的另一個特點是反應堆壁與基板之間的「氣隙」。這一間隙有助於最大限度地減少基板與腔室表面之間的熱量和顆粒幹擾，保持P-5000性能的高可靠性和重復性。可選的二級腔室允許一個更通用和量身定制的過程。腔室壓緊，能夠使用兩個獨立的氣源。這一特性可用於供應多種氣體，或開發帶有額外氣體或酸的高級工藝。應用材料P-5000利用各種安全機制。它有一個集成的氣缸和歧管系統，能夠安全和均勻的供氣連接，並提供防止意外註入不正確氣體的保護。AMAT P 5000還配備了一個超壓爆破盤，能夠立即排出任何過壓。AMAT P5000是晶圓制造的可靠工具，為各種半導體工藝提供了安全、可重復的工藝。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有多種功能,是任何加工環境的理想選擇。