二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083567 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是生產矽基薄膜的半自動等離子體反應器。該反應堆配有完全計算機化的設備，用於控制工藝環境和監測性能。這可以精確控制薄膜厚度和均勻性，以及控制沈積速率。反應堆由一個衣領室、一個底室和一個控制器面板組成。衣領室是主要的沈積室，它裝有一個圓柱形陰極，它是提供沈積材料的原料，而真空泵則在室內產生真空。基室裝有氣體輸送系統，該系統控制前體的流動和等離子體形式中使用的活化能。控制器面板是計算機化的控制單元，用於監控和調整過程環境中的變量。AMAT P-5000通過將前體和活化能傳遞到主沈積室來應用等離子體形式。前體是一種原料材料，被電離過程分解，被活化能激活。前體和活化能通過各自的腔室開口閥在兩個腔室之間分配。然後將衣領室密封，使其能夠在高達10-7 Torr的真空下運行。電離前體和活化能形成等離子體形式，用於將薄膜沈積到晶片上。等離子體產生的熱量也驅除了隨後鈍化過程所需的薄膜中的氧氣。薄膜以10-20埃/秒的典型速率沈積，沈積窗口為0.4-4.0埃。這一過程產生的薄膜極為均勻，具有極好的附著性能。薄膜厚度可以在三到幾百埃之間，厚度和均勻性很容易控制。薄膜硬度可以定制，範圍從40 Kgf到17 Kgf。沈積速率等變量如壓力、射頻功率、流速和脈沖寬度都可以用計算機化的控制機輕松調節。APPLIED MATERIALS P 5000是在多種應用中生產基於矽的薄膜的理想工具。用於平板顯示器、光伏電池、MEMS、微電子等行業。憑借其先進的工藝控制，P 5000在生產精密控制、完美均勻性的薄膜方面具有無與倫比的性能。