二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9092874 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高溫反應器，設計用於高級材料的工藝開發、聯合開發和生產。該系統能夠以完全自動化和高效的方式進行化學氣相沈積和化學機械拋光。該反應堆利用CVD和CMP的最新技術，提供了最高水平的工藝控制和產量。AMAT P-5000設計有一個垂直反應器室，容納三個相應的薄片，用於底物的裝卸。APPLICED MATERIALS P 5000的垂直設計允許在同一等離子體腔內支撐和加工廣泛的基材。APPLICED MATERIALS P5000的工藝程序是完全自動化的,旨在使用復雜的配方,從而實現最佳且可重復的沈積和拋光工藝。特別設計的多氣體輸送系統允許在CVD過程中精確控制氣體的輸送，提供更大的控制和工藝質量。根據材料要求，P-5000最多可同時使用三種反應物氣體和一種凈化氣體。P5000能夠在高達500 °C的溫度下執行CMP過程,整個基板表面都有統一的基板溫度。獨特的水流系統確保實現可靠高效的CMP工藝，而獨立的停留時間管理則保證優化統一的處理工藝。AMAT P 5000具有先進的自動化功能,使用標準通信協議（SCPI）等通信接口進行操作。它還支持對CVD和CMP流程進行遠程診斷和在線監控,以便實時監控和調整流程。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000專為高生產率和產量而設計，適用於先進材料的自動化生產。AMAT P5000具有精確的過程控制、高級自動化功能和高溫CMP過程等功能,為生產高質量的高級材料提供了可靠的解決方案。