二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9093623 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種化學機械拋光（CMP）反應器,旨在提供高水平的基板平面度和表面平滑度。AMAT P-5000反應堆采用先進的制造技術開發，設計符合各種制造要求，是各種CMP工藝的可靠平臺。APPLICED MATERIALS P 5000反應堆具有現有最大的拋光室足跡之一，允許對直徑高達450mm的晶圓進行大規模的基材加工。該反應器能夠處理各種工藝化學，並通過高壓拋光降低表面粗糙度。P 5000具有強大的漿液過濾功能,可提高清潔效果,以及用於高效基板處理的內置固定設備。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反應堆可以很容易地與現有的全植物控制系統集成。APPLICED MATERIALS P5000反應堆的設計集成了最新的CMP技術，以最大限度地提高性能。反應堆采用拆卸Ue和可靠密封的拋光室設計，機械臂自動在多個拋光站移動晶片。這使得AMAT P 5000比傳統的CMP反應堆實現了更高的生產效率，同時保持了均勻的底物拋光結果。此外,APPLICED MATERIALS P-5000采用先進的全氟聚醚（PFPE）拋光墊,用於清潔、有效的基材拋光.除了P5000反應堆的堅固設計外，系統中還集成了多種先進的過程控制技術。這包括對CMP過程的實時光學單元監控、即時過程參數調整、預測性維護診斷、自動晶圓處理以及過程歷史數據庫日誌記錄。通過利用這些自動化的過程控制技術，AMAT P5000能夠快速而有效地提供一致的過程結果。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應堆設計為在生產環境中提供高質量的結果和可靠的運行。為了確保最高級別的性能,P-5000能夠利用各種性能調整參數來定制特定的應用程序要求。此外，反應堆還包括一套全面的生產率監測工具，以提供對機器性能的全面觀察。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一個可靠和堅固的CMP平臺，具有多種功能，可根據各種制造要求實現高效和一致的基板拋光性能。AMAT P-5000是實現高水平基板平面度和表面光滑度的可靠工具。