二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9096152 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為等離子體沈積應用而設計的專用反應堆。該反應堆設計用於在高達700 °C的溫度下處理基板。利用等離子體沈積技術的最新進展，提供了質量最高的薄膜應用。AMAT P-5000的設計適合各種材料，從電介質到半導體和金屬。反應器室是真空密封的，由兩個獨立控制的可變真空端口組成。這使得材料可以在低至10-7 Torr的超高真空中加工。這些端口還為用戶提供了對沈積過程參數的更多控制。腔室還具有大的等離子體源，允許大範圍的等離子體密度，允許廣泛的沈積要求。電源/控制器具有內置的等離子體監控系統,能夠提供多種電源配置文件,包括單脈沖、突發脈沖和功率增強模式。還有一個控制等離子體沈積物能量需求的系統，允許對沈積過程進行極好的控制。此外，一個原位光學發射器和探測器系統允許對過程進行詳細的觀察。應用材料P 5000是一種先進、高效的等離子體沈積工具.其特點的結合為沈積工藝提供了極好的控制，使用戶能夠生產出具有嚴格工藝參數的優質薄膜。其高度的靈活性使其適合廣泛的應用，其堅固的構造手段可以在惡劣的工業環境中使用，維護要求最低。