二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9097963 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器。它是一種生產就緒的工具,旨在幫助制造商優化流程並提高產量。AMAT P-5000反應器是一種低壓、大面積、可擴展的沈積設備，能夠產生氧化物、氮化物和多矽層。它在先進集成電路（IC）器件的沈積以及大面積顯示器和光伏（PV）器件的生產中特別有用。APPLICED MATERIALS P 5000系統是一個靈活的平臺，能夠對沈積過程進行高精度的控制，允許生產出薄薄的柵極氧化物、柵極堆棧和擴散層。它的低壓環境減少了氧化和汙染，導致更薄、更均勻的層具有更好的電性能。通過使用氮氣或氦氣的惰性氣體環境，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應堆可實現高通量和可重復性，且源和淋浴頭的侵蝕最小。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000單元具有先進的基板加熱機,可確保晶圓表面均勻、高溫均勻,並提供出色的現場計量。這可以實現準確的實時過程控制,並減少由於具有挑戰性的底物化學特性而導致的刀具停機時間。AMAT P 5000反應堆還提供最先進的石英監測，以測量不同物種的光譜排放，並優化不同工藝的沈積條件。APPLICED MATERIALS P-5000工具可以配置多個下腔過程，包括遠程等離子體、蝕刻後等離子體、高級蝕刻和沈積過程。先進的磁控管濺射、PVD和濕沈積工藝也適用於下腔。一個集成的自動化晶圓處理資產與機器人臂端效應器提供了快速和可靠的加載和卸載晶圓。AMAT P5000模型配備了復雜的計算機控制過程模塊，提供了極大的易用性。P5000s模塊化體系結構可確保快速輕松地升級,從而降低擁有成本。P-5000還提供了快速的周期時間、低排放、自動維護協議以及與現有制造網絡的輕松集成。P 5000設備具有很高的可靠性和效率,對於希望優化流程和提高吞吐量的制造商來說,它是一個理想的選擇。