二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9102224 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為高溫半導體加工而設計的工藝反應器。它是一種高性能工具,能夠制造高級半導體器件。AMAT P-5000是先進的3D集成設備(如晶體管、DRAM等)的理想選擇,因為它具有卓越的精度和與潔凈室兼容的功能。APPLICED MATERIALS P 5000的特點是一個由不銹鋼和石英制成的腔室,在墻壁、天花板和地板上都有水平安裝的熱輻射屏蔽。該設計具有獨特的氣密均勻絕緣設備,為控制環境提供了一種高效的方法,並能夠對設備性能進行精確分析。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000利用先進的熱均勻性控制,確保所有加工參數保持在恒定範圍內,從而實現設備生產的一致性。AMAT P5000采用模塊化設計,提供遠程診斷和維護控制等功能以及配方功能。此功能允許制造工程師根據設備處理要求存儲和召回配方,從而實現操作自動化和簡化。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000還具有高級安全包,可確保安全和無故障的處理。它包括用於潛在危險氣體的自動關閉閥、壓力傳感器切口和沒有氧氣傳感器接觸以及低壓和高壓限值。此外,AMAT P 5000還提供了先進的熱管理系統。該單元均勻地分配熱量,確保均勻的溫度分布:確保諸如溫度、壓力等處理參數的均勻性。它還具有各種可定制的冷卻系統,提供了一種更高效的冷卻方式,以及更快的冷卻時間。P5000還提供了多種先進的工藝技術,使其能夠同時加工多達七層材料。該工具能夠利用自旋塗層、PVD、CVD、蝕刻、ALD和其他強大的工藝,完全控制感應、輻射和熱源。總體而言,APPLIED MATERIALS P5000是一種用途廣泛、可靠的反應堆,非常適合高科技半導體加工。它具有精密、安全的特點,非常適合復雜的集成設備制造.
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