二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9103153 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種最先進的研發反應堆，用於生產用於電子芯片技術的薄矽和其他材料。它能夠生產小於10nm的器件層，適用於制造半導體器件，如石墨烯和光伏產品。AMAT P-5000利用一個晶片加工室，由一個短介電襯裏和一些強大的組件組成，包括加熱元件、氣體疏散設備和噴射器。加熱元件是一種電阻陶瓷換熱器，能夠快速加熱並保持穩定的溫度。氣體疏散系統設計用於清除任何不需要的氣體，而噴射器則用於向腔室註入過程氣體。腔室由一個電源單元支撐，該單元向各個組件提供連續的電力，同時使用氣體凈化機清理過程中的氣體。APPLIED MATERIALS P 5000旨在通過應用射頻濺射或其他基於能量或電荷的工藝選擇性蝕刻矽、金屬和其他材料。該反應器能夠比傳統的基於光刻圖樣的工藝，例如用於芯片制造的工藝，實現更高的精度和更精細的圖樣。反應堆通常在0.5至5mTorr的等離子體壓力下運行，能夠產生介電層、金屬和其他材料。AMAT P5000支持一系列工藝參數和選項,例如溫度範圍、沈積時間和整個工藝周期時間。這允許生產復雜的3D微結構和其他復雜的芯片設計。該反應堆能夠產生用於電路和後端工藝的均勻表面，並用於微電子工業中，用於制造超薄集成電路。P5000已被證明是一種可靠和高效的設備,使用戶能夠在傳統光刻工藝所需時間的一小部分內實現準確、高性能的設備。憑借其微調的控制能力和優越的性能，P-5000成為微電子行業研究人員的寶貴工具。