二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9111886 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9111886
晶圓大小: 6", convertible to 8"
優質的: 1992
Metal etcher, 6", convertible to 8"
Chamber A: MxP Metal, M-Chuck Type
Chamber B: MxP Metal, M-Chuck Type
Chamber C: ASP
Chamber D: N/A
Storage elevator: 29-Slot
Robot: Standard 6"
Cassette indexer: 6"
Chucking type: mechanical clamp
Chillers: (4) Dasan DHX-440D
Dry pumps: (4) Edwards QDP80
Gas scrubbers: (2)
Monitors: (2)
Power cables, RF cables, and signal cables
Chambers A Configuration:
Gas1 Bcl3 UNIT HFC 8160 200 Sccm
Gas2 N2 UNIT HFC 8160 100 Sccm
Gas3 Cl2 UNIT HFC 8160 100 Sccm
Gas4 N/A
Gas5 N/A
Gas6 N/A
Back He He MKS
Chamber Manometor MKS
Turbo Pump Seiko Seiki
Turbo Pump Controller Seiko Seiki SCU-21D
RF Generator ENI OEM-12B 1250W
RF Match AMAT
Chambers B Configuration:
Gas1 Bcl3 UNIT UFC-1160A 100 Sccm
Gas2 N2 UNIT UFC-1161A 100 Sccm
Gas3 Cl2 UNIT UFC-1160 100 Sccm
Gas4 O2 UNIT UFC-1163A 100 Sccm
Gas5 CF4 UNIT UFC-1164A 50 Sccm
Gas6 CHF3 UNIT UFC-1165A 100 Sccm
Back He He MKS
Chamber Manometor MKS 1Torr
Turbo Pump Seiko Seiki STB-301CB1
Turbo Pump Controller Seiko Seiki SCU-21D
RF Generator ENI OEM-12B 1250W
RF Match AMAT
Chamber C Configuration:
Gas1 N2 UNIT UFC1860 2SLM
Gas2 O2 UNIT UFC1160A 5SLM
Gas3 N/A
Gas4 NH3 UNIT UFC-8160 100 Sccm
Gas5 H2O VDS Tylen UC-4900MEPR 500Sccm
Chamber Manometor MKS 10Torr
Chamber Manometor MKS 100Torr
Microwave Generator ASTECK AX-2115 1500W
Currently de-installed
1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種創新的反應堆設備，專門設計用於為先進材料加工提供多用途且成本效益高的工藝解決方案。它為諸如蝕刻、沈積、氧化和退火等工藝提供了一系列全面的解決辦法，同時考慮到與此類工藝相關的成本和復雜性。該系統有小型化和全尺寸配置，適用於各種材料，從電介質到金屬。AMAT P-5000反應器利用電感耦合射頻等離子體技術的專利組合和先進的電子回旋共振源，用於為高速度脈沖蝕刻過程創造高活動性富氧氣氛。這項技術提供了一系列的優勢，比傳統等離子體源，包括更高的蝕刻速率，提高均勻性，減少工藝變化。此外，APPLIED MATERIALS P 5000配備了先進的數控系統和精密的軟件，用於執行工作，精確度提高。APPLIED MATERIALS P5000設計用於高通量和可重復的過程,同時產生具有高可重復性和可重復性的統一特征。反應堆采用雙點化學氣相沈積技術，具有較高的沈積速率和均勻性。此外，AMAT P 5000可以處理薄至單納米的薄膜和厚至10微米的大薄膜，沈積速率高達每秒一納米。P-5000使用自動基板升降機進行裝卸，從而縮短周期並最大限度地提高吞吐量。它的可編程過程控制與高級軟件算法同時處理多個作業，以確保為每個應用程序優化過程配方。自動裝卸裝置能夠以極高的速度提供高精度的結果。P 5000機器還配備了高級監控和診斷模塊，其中包括幾個工具級操作，允許用戶監控、診斷和故障排除資產性能，優化設備性能。它還提供了易於使用和理解的用戶友好軟件界面。這樣可以確保用戶能夠快速、輕松地設置作業並編程完成其應用程序所需的必要流程。AMAT P5000的高級診斷和分析功能使用戶能夠快速監控和診斷模型性能,以優化其流程。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000為先進的材料處理提供了一個全面的解決方案,它采用了創新的技術和高度先進的控制系統,使復雜的過程能夠以高精度和可重復性進行。該設備適用於一系列材料，從納米厚膜到10微米厚膜，與傳統等離子體源相比提供了一系列優勢。它還提供復雜的軟件,方便編程和循環時間,旨在最大程度地提高吞吐量。
還沒有評論