二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9112922 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是半導體工業中用於研發和小批量生產的單晶圓加工反應器。它是一種適用於用於制造半導體器件和復合材料的過濾和沈積工藝的超高真空（UHV）系統。AMAT P-5000通過電子控制單元（ECU）控制，並通過IEEE-488總線連接到個人計算機（PC），ECU管理和操作反應堆的不同部件。APPLICED MATERIALS P 5000包括一個工藝室、一個上下電極、一個靜電卡盤（ESC）和一組摩擦電嵌入氣體輸送子系統（GDS）針。工藝室是一種真空室，可以達到1E-7 torr或更低的壓力。一組四個同心的內環圓盤允許在反應堆內部均勻分布熱量。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000允許各種沈積過程，如ALD、PECVD和濺射，利用電子和氣流參數來調節反應物劑量。上下電極可以達到高達1000 °C的溫度，並使用ESC充電。ESC由摩擦電材料制成，旨在以均勻的電勢為晶片充電。充電可根據流程需要進行調整。晶片采用四點接觸機構固定居中。GDS針頭負責將受控數量的氣體輸送到工藝室內。例如，如果將AMAT P5000用於沈積反應，通常三種氣體將以必要劑量輸送到反應堆、前體、氧氣和載氣中。GDS針可以編程為在加工過程中修改反應物劑量，允許需要微調反應物的復雜過程。總之，APPLIED MATERIALS P-5000是半導體工業中用於研發和小批量生產的單晶圓加工反應器。它是一種適用於過濾和沈積過程的超高真空系統，能夠輸送可調反應物劑量的受控氣體。它通過具有可調沈積過程參數的ECU進行控制,並具有一個上下電極,可達到高達1000 °C的工作溫度。