二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9118859 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是專門為先進材料系統處理而設計的先進自動化反應堆。該反應堆集成了最高精度的傳動系統、容量、兼容性和定制技術，以確保過程的可重復性、準確性和可靠性。利用其靈活的自動化體系結構,AMAT P-5000提供了優化的性能,以滿足不同級別的設備自動化過程要求。APPLIED MATERIALS P 5000反應堆由氣體/氣體進料系統、自動化控制面板、多區輻射加熱器組件和半導體工藝室組成。氣體/氣體進料單元將來自汽相和液相的反應物從儲罐泵入反應堆。自動化控制面板包含一個功能強大的處理器，並連接到腔室、加熱器和其他子系統。它負責控制反應物氣體的壓力、溫度和組成等機器參數。多區輻射加熱器組件由一系列獨立可控的燃氣輻射管組成，這些輻射管連接到波紋管操作的機械結構上。此組件的多區域功能允許精確的溫度控制,從而實現最佳的工藝配方和性能。半導體加工室由一個襯有電磁線圈的石英室組成。這些線圈在腔內產生交替磁場，用於驅動反應過程，同時控制反應物分布。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應堆還具有過程調節能力，允許在啟動和穩態操作期間進行響應修飾。設置這些參數是為了確保工藝室在整個操作過程中保持一致的關鍵工藝參數，如溫度和反應物濃度。此外，P5000能夠處理各種化學物質，使其適用於納米加工、氣相沈積和薄膜沈積等應用。總之，AMAT P 5000是一種高性能的反應堆工具，它提供了優化的性能和改進的過程重復性、準確性和可靠性。APPLIED MATERIALS利用其自動化組件和強大的過程調節功能P5000能夠處理各種化學問題,使其成為高級材料系統處理的寶貴工具。