二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9134013 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種亞大氣層、集成式快速熱處理（RTP）設備，設計用於提供多種材料的高產、均勻的薄膜沈積。該系統可用於制造半導體、微電子、醫用和特種光學等廣泛行業的元件。AMAT P-5000反應器能夠在氦氣氣氛中以高達2000 °C的溫度進行處理，允許各種先進的薄膜沈積技術，如熱氧化、濺射離子鍍層、ALD、CVD和ALD-CVD工藝。它包括自動配方設置、低汙染薄膜沈積的動態臭氧清潔、用於控制氣體流動的清除百葉窗、用於沈積前快速預先對準晶片的電動晶片載體、以及定制設計的帶有冷卻通道和溫度控制端子的感光器框架，以提供整個腔室均勻、可重復的溫度分布。該設備還提供靈活的工藝選項和模塊化升級功能,允許用戶采用最新的薄膜沈積技術。APPLICED MATERIALS P 5000反應器具有高分辨率攝像頭，可提供晶圓快速對準和最終產品在工藝室內的精確定位，真空水平高達5E-5 Torr。它還有一個內置的加載鎖定機，它允許晶片的裝卸，同時保持一致的處理環境。這樣可確保在多個流程周期中獲得穩定且可重復的結果。最後,該工具包括一個冷卻風扇,用於從工藝室中除去多余的熱量,確保在所有基板上均勻沈積薄膜。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor是尋求先進薄膜沈積高效、低成本資產的人的絕佳選擇。它具有靈活的配置,使用戶能夠跟上先進的薄膜沈積技術,確保在廣泛的應用中獲得高精度、可重復的結果。