二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9134767 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為先進的半導體器件生產而設計的先進集成單晶圓反應器。AMAT P-5000具有創新的平面結構,能夠進行先進的沈積過程,如化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）。這使得它非常適合為各種半導體應用創建薄膜和納米結構。該系統由四個主要組成部分組成。第一個是工藝室，其中包括多條氣體管線和一個自上而下的蒸氣發生器。在內部，蒸汽發生器加熱室內的材料，而氣體管線則將汽化的材料註入基板。腔室用N2吹掃密封，防止材料汙染，減少不需要的反應。APPLIED MATERIALS P 5000的第二個部件是等離子體發生器。該組分通過使用射頻（RF）能量激發腔內分子，在腔內產生所需的反應。此過程有助於減少缺陷和雜質,這些缺陷和雜質對於優化設備性能至關重要。APPLIED MATERIALS P5000的第三個組成部分是平臺系統，它能夠精確控制沈積過程。這包括控制工藝室內壓力、溫度和氣流的多個模塊。它還包括許多傳感器來監控過程,允許實時調整以確保最佳性能。最後，第四個組成部分是自動化系統，確保整個沈積過程按照預期配方進行控制。這樣就可以實現高水平的可重復性,這對於工程師創建復雜的設備結構至關重要。綜上所述，P 5000是為滿足先進半導體器件生產需求而設計的先進集成單片反應器。AMAT P5000具有平面結構和全面的組件組合,能夠以高精度和可重復性創建薄膜和納米結構。