二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9144772 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為MOCVD（金屬有機化學氣相沈積）應用而設計的高通量並聯反應器。該反應堆采用模塊化設計，在戰略視場和腔腔配置方面具有卓越的可擴展性和過程靈活性。該設備旨在為計量、光刻、材料科學和MicroElectroMechanical Systems （MEMS）設備處理應用提供高吞吐量。AMAT P-5000的製程室設有質量流量控制器（MFC），控制惰性氣體和製程氣體的輸送，而基板溫度則由熱效率高的基板架調節。MFC配有數字控制器和溫度測量系統，可精確控制工藝環境。該裝置還包括一個先進的晶圓至精煉界面，可最大限度地減少潛在汙染並提高工藝窗口的可重復性。除了工藝室之外，APPLIED MATERIALS P 5000還包括一臺原位計量機，對工藝狀態和精度提供可靠的實時監控。利用高質量的光學儀器，計量工具可以捕獲樣品的表面圖像，並分析包括晶體生長速度和均勻性在內的多種數據。這確保了可靠的高通量生產,並具有低汙染或其他異常風險。P-5000擁有一個運輸資產，其設計的魯棒性和靈活性，盡量減少過程停機時間和避免崩潰的晶圓。這種傳輸模式提供了轉子轉速和晶圓中心的嚴格控制，以及自動故障檢測的故障安全設備。P5000系統的整體設計經過優化,可獲得最大的吞吐量和卓越的靈活性。AMAT/APPLICED MATERIALS憑借其卓越的可擴展性、工藝多功能性和嚴密的工藝控制能力,一定能滿足MOCVD在半導體及相關行業的應用要求。