二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9145243 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9145243
晶圓大小: 8"
CVD system, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高通量並行處理反應器,旨在提供卓越的精度和控制。這種多功能設備使用戶能夠應對從低容量處理到大容量應用程序的各種挑戰。它的設計基於創新和專有的體系結構,該體系結構將單個「流程單元」的數組組合到一個流程室中。AMAT P-5000的過程單元使用機器人和熱管理系統來控制不同過程條件在每個單元中的應用,讓用戶輕松實現可重復的最佳性能。APPLIED MATERIALS P 5000旨在執行廣泛的沈積和清除任務,包括化學氣相沈積(CVD)、濺射蝕刻、物理氣相沈積(PVD)和熱蒸發。它具有功能支持,具有預裝配方的全面庫和用戶友好的HMI觸摸面板。操作員可以輕松地在P-5000中配置不同的工藝配置,並使用各種工藝氣體或真空工藝來滿足不同作業的確切要求。與其他加工設備相比,APPLIED MATERIALS P-5000的多功能性非常突出。它可以根據所需的特定過程,以不同的配置處理多達8英寸的晶圓。該系統還能夠保持最佳工藝參數,為整個基板批次提供高度統一的工藝結果。此外,AMAT P5000是為可靠性和安全性而設計的,適用於研發和生產環境。AMAT P 5000旨在為廣泛的應用提供最大的過程控制和精度。其智能過程控制(IPC)提供非活動過程漫遊,使設備能夠根據需要不斷調整最佳過程參數。其先進的環境監測機器還確保環境波動對過程的影響最小。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000的遠程診斷和維護(RDM)允許用戶輕松了解其操作,並訪問準確的預防性維護數據。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一個功能強大且用途廣泛的反應堆,它提供了一系列先進的特性,這些特性對於優化執行許多復雜的過程至關重要。其智能流程控制提供卓越的性能,而其自動化環境監控工具、遠程診斷和維護等功能則提供動態、可靠和安全的操作。
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