二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9148372 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是設計用於半導體和電子器件制造的高通量、高效熱反應器。AMAT P-5000具有頂部加載配置,允許最大程度地訪問基板加載、卸載和維護。該反應堆利用AMAT CleanOxide氧化技術，提供高效、高均勻性、超長循環時間，同時保持優越的器件性能。APPLICED MATERIALS P 5000利用雙級氧化劑腔促進均質氧化膜生長，在保持高質量效果的同時允許增加吞吐量。該室還利用流量調節設備減少非均勻性。該系統由先進的氣體輸送網絡提供動力，該網絡包括可編程分配、溫度控制和低流量關閉閥。此分配控制單元可幫助加快流程和提高可重復性,提供卓越的準確性和可靠性。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000也有幾個非常吸引人的特性，例如即時參數調整、原位測量和反饋的能力，以提高過程的可擴展性和魯棒性。這樣可以實現自動化、無壓力的操作和最小的停機時間。此外,APPLICED MATERIALS P5000利用集成的多端口排氣機實現卓越的空氣管理,並利用先進的診斷包快速輕松地解決問題。這種特性的結合創造了一個高效可靠的熱處理設備，非常適合集成電路制造。其他功能包括增強的Autozone™模塊,以提高周期可重復性,以及可選的晶圓處理機器人技術,以提供卓越的吞吐量。總而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一種用途廣泛的高性能反應爐，針對半導體制造進行了優化。