二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9153667 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是行業領先的蝕刻設備,用於在微電子、納米電子、數據存儲和光電子市場中蝕刻各種材料晶片。它是AMAT提供的一整套蝕刻工具的一部分,這些工具旨在提供最高的可靠性、最深的蝕刻速率和最寬的加工窗口。AMAT P-5000是為通用蝕刻而設計的，包括高長寬比蝕刻，可以精確地創建多層次的結構，允許最復雜的集成電路的復雜結構。APPLIED MATERIALS P 5000能夠通過各種不同的蝕刻配方提供一致的蝕刻輪廓，其中最精確的是采用等離子體輔助蝕刻配置。這種配置包括真空室、射頻電源、工藝氣體控制單元以及天線或註入電極。室內的大氣壓由機械泵和調節器維持，而蝕刻氣體則通過氣體處理系統送入室內。微波產生的等離子體由離子、自由基和其他活化物質組成，它們創造了一個高電荷的環境，鼓勵對暴露的材料進行蝕刻。APPLICED MATERIALS P-5000配有調制電子回旋共振（MECR）色譜,可提高等離子體均勻性,減少蝕刻時間,提高通量。AMAT P 5000是最先進的蝕刻系統之一,提供多種配方和高性能。P5000設計用於在各種材料中產生尖銳的深層蝕刻輪廓,包括矽、二氧化矽、氮化矽和光致抗蝕劑。利用對蝕刻速率的精確控制,APPLIED MATERIALS P5000實現了更快的光刻和微加工過程。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有先進的光電離控制單元,可確保快速響應控制錯誤並保持高度準確的過程結果。此外,P 5000還配備了實時性能監控和診斷工具,有助於流程優化和監控。總而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應器是一種先進的蝕刻機，設計用於生產工藝參數可調、蝕刻速率高、均勻性好、工藝時間快的深層精密蝕刻型材。