二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9153668 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)反應器,用於沈積各種組合物的薄膜以制造半導體、光學和生物醫學器件。這種用途廣泛的設備可以沈積各種氧化物、氮化物和碳化物薄膜,溫度範圍從低到高。反應堆有一個封閉的腔室,裏面裝有工作氣體,如反應性氣體,以產生沈積過程,以及要沈積的材料。腔室被一個自旋的晶片架包圍,可以旋轉以允許目標材料在晶片表面上均勻塗層。腔內有兩種晶圓生長的基材,以及方便穩定膜沈積所需等離子體形成的電極和電容器。利用微波電源產生等離子體,產生快速高效的沈積。腔室壓力可調,可調節溫度和沈積時間,達到理想的薄膜性能。還利用射頻場控制沈積速率,提供沈積一定厚度範圍的薄膜材料的能力。該系統還配備了分析儀設置,用於測量沈積過程中獲得的參數。AMAT P-5000是一種可靠高效的反應器,用於沈積各種材料的薄膜.由於其可調的設置,該單元允許最佳薄膜沈積,即使在極具挑戰性的應用。此外,該機相當便宜,緊湊,是商業和工業用途的理想選擇。因此,APPLIED MATERIALS P 5000是半導體和光學行業制造商和其他專業人士的熱門選擇,也是開發各種醫療、航空航天和電子元件的行之有效的主力軍。
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