二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9153669 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是AMAT制造的先進沈積設備,AMAT是一家以銷售和支持研究和半導體行業設備而聞名的公司。這類反應器用於薄膜的高精度濺射，用於光刻、介電隔離等應用，是先進薄膜沈積系統的領先實例。這種特殊的沈積裝置有一個多臂加工室，有一個兩段泵機和一個集成的軸上區域。它由一個高級不銹鋼真空室組成，可容納九個加工臂，每個臂設計用來處理密封晶片載體。室內發現的屏蔽板由鋁骨架和碳纖維復合側壁組成。工藝控制軟件使用戶能夠控制腔室及其組件的電氣、機械和化學狀態，以達到所需的工藝效果。AMAT P-5000配備了兩個內置電源，用於濺射，並提供對目標電流的完全控制。它支持從金屬到合金、有機物甚至氧化物的一系列濺射材料。為了優化沈積過程，該工具可以檢測目標材料中存在的任何雜質，並提供目標電流和壓力的實時顯示。這樣可以確保材料以最大的均勻度濺射，從而允許高精度的薄膜沈積。資產還具有測量晶圓溫度的能力，允許用戶優化沈積條件。這也可以用來確保底物溫度低於所需材料的熔點。APPLIED MATERIALS P 5000配備了各種其他功能,以確保有效的目標利用率。例如,它包括一個高級目標管理模型,以自動排除使用過的目標材料並避免損壞設備及其組件。此外，它的可調離子源提供了改進的沈積結果，並允許更好的均勻性模具之間。最後，其獨特的空氣過濾系統防止灰塵和塵埃顆粒進入真空室，確保更好的過程穩定性和均勻性。總體而言，P5000是一個高質量、最先進的薄膜沈積單元，提供卓越的精度和過程控制。它設計用於處理多種材料，其特點有助於優化沈積過程，使其非常適合研究和工業應用。