二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9160448 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是專門為與半導體材料制造相關的沈積和蝕刻過程而設計的生產工具。它允許在單層和多層基板上高效生產各種材料的薄膜。AMAT P-5000反應堆是一種通用工具，可用於多種過程，如等離子體增強氧化；物理氣相沈積；化學氣相沈積；蝕刻；電極制造；合金生長；催化劑生產；薄膜沈積；以及研究和開發。它的等離子體支持過程是在帶有加熱真空室的垂直、批處理模式反應堆環境中進行的，以及一系列垂直整合的晶片級和支持子系統。APPLICED MATERIALS P 5000 Reactor配備頂置、大功率的射頻等離子體源和單獨的、原位的診斷源。這種組合提供了獲得可靠工藝結果所需的精確物理參數（溫度、氣流、壓力和電流）的靈活性。P-5000反應堆具有非常堅固和耐用的石英鐘形罐，其部件是為各種工藝條件而建造的。此外，反應堆可以旋轉和傾斜，以便於處理。這一特殊功能允許APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor用於一系列沈積應用,包括介電、抗蝕劑、銅和粘附增強處理。反應堆進一步配備了專門設計的擋板系統，用於精確控制腔內氣體分布。這種擋板系統提高了沈積均勻性，有助於減少薄膜層的總厚度和遮罩變形。AMAT P5000 Reactor還包括一個獨特的計算機控制系統，允許用戶選擇和控制各種工藝參數。該軟件包有助於促進晶片加載/卸載、樣品表征和分析、過程調度以及沈積條件的校準。簡言之，APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種先進的沈積工具，旨在方便薄膜和多層結構的精確生產。它是一種高效、通用的工具,可提供一致、可靠的結果。