二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9169641 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9169641
晶圓大小: 4"
CVD Etcher 4" (2) chambers for SiO.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種業界領先的制造工具,設計用於在納米級蝕刻和清潔微型矽晶片。AMAT P-5000允許對晶圓的結構過程進行精確的陣列化以及高保真的微調。它能夠支持從深蝕刻和CMP到光刻和脈沖激光沈積(PLD)的各種工藝和圖樣應用。APPLICED MATERIALS P 5000具有堅固耐壓的鋁制真空室,配有精密烘烤機構和超高真空泵。這使得它能夠實現低壓過程環境,以及長時間維持特定溫度。它還具有廣泛的清潔系統、內置的安全功能(如壓力表和緊急關閉),以及用於監控過程參數的數據采集系統。應用材料P-5000反應堆有可編程的配方文件,其中包含所有必要的晶圓工藝信息。這使工具能夠輕松地在應用程序之間切換,並快速配置配方,以實現所需的結果。此外,其用戶友好的觸摸屏界面使設置配方文件、控制參數和監控過程結果變得更加容易。反應堆的高精度蝕刻能力,結合其強大的真空系統,確保能在納米級產生極好的再現結果。其細小的斑點尺寸使其對於精確圖案化小特征非常有效。APPLICED MATERIALS P5000的幹濕清潔方法在清潔和修理晶片而不損壞晶片方面也提供了廣泛的功能。P5000是任何現代微型化設備必不可少的工具,能夠滿足最苛刻的流程和制造工作流程。它的準確性、精確度和多功能性使其能夠最大限度地提高工藝產量,並以最低的成本、精力和時間提供出色的結果。
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