二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9171284 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種沈積反應器，設計用於在等離子體環境中將薄膜塗層沈積到半導體晶片上。該反應堆專門設計用於處理半導體材料，如矽、二氧化矽、三維（3D）晶體管和光子集成電路。它能夠提供較大的晶片面積，並且易於處理與細線光刻有關的敏感性，從而在制造過程中提高產量。AMAT P-5000室包含一個八角形基座和一個先進的過程提升機構.這通過保持晶圓和上部電極之間的恒定距離，使得晶圓在加工過程中的精確位置和穩定性。該提升機構可用於減少汙染和晶圓破損，以及微調不同材料的加工參數。APPLICED MATERIALS P 5000結合獨特的雙槍源設計，實現了沈積過程中的高均勻性。雙槍具有兩個電子回旋共振（ECR）等離子體源，有助於最小化非均勻性。P-5000還具有專有的高級配電模塊，可確保從ECR等離子體源到晶圓的可靠且均勻的配電。除電源模塊外，P5000還利用獲得專利的氣體部署設備進行目標氣體沈積。該系統控制多個氣源，並允許對氣體配方進行微調，以優化沈積速率、均勻性和沈積特性。一個專門的軟件控制過程管理單元作為機器的「大腦」。該工具旨在通過自動控制配方參數和維護周期來優化流程效率。這樣可以縮短完成時間並提高產量。總體而言，AMAT P5000是一種高度通用的沈積反應器，能夠為各種半導體應用提供卓越的工藝效果。與傳統的沈積室相比,它為小型和大型沈積運行提供了卓越的性能,並增加了正常運行時間和降低了成本。