二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9171285 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為半導體工藝應用而設計的最先進的蝕刻反應器。它是一種多室、多模塊蝕刻設備,用途廣泛且可高度定制,可滿足每個客戶的個人需求。該系統旨在為用戶提供對蝕刻過程的最大控制，使他們能夠實現嚴格的生產控制和快速的周期時間。AMAT P-5000包括一個負載鎖定/通風口和一個或兩個處理室。負載鎖定/排氣口具有各種功能，允許用戶引入和移除基板，疏散單元並控制加工室的壓力。過程氣體通過裝入負載鎖的先進歧管機輸送。歧管由高壓不銹鋼制成，包括幾個進氣閥和氣線連接。刀具的加工室具有圓柱體設計，電磁增強線圈組件圍繞腔壁布置。這些電子線圈產生強大的磁場和靜電場組合，確保均勻和均勻的過程等離子體。E型線圈還提供了腔壁的自動清潔，從而提高了工藝的可重復性，減少了腔壁的清潔周期。APPLICED MATERIALS P 5000資產使用多種單一氣體和氣體混合物處理腔室氣體。功率通過射頻發生器傳遞，使用戶能夠控制電子束的流動，產生均勻、均勻的過程等離子體。它還允許用戶精確地調整頻率和功率。該模型包括一個提供用戶特定配方和參數的復雜軟件包。它允許連續監測確切的生產成本，提供數據記錄和相關工藝參數分析，並實時工作。該軟件還包含室內安保系統和壓力限制等安全功能。這確保了流程操作保持安全、高效和高效。總體而言,AMAT P5000是一種高度通用和可定制的高級蝕刻設備。它提供了無與倫比的對蝕刻過程的控制，使用戶能夠提高生產時間並最大化產量。