二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9181556 待售
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ID: 9181556
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
TEOS CVD Systems, 8"
(3) Deposition Precision Liquid Injection System (PLIS) chamber
Sputter etch chamber
Parts / Modules:
DELATECH 859 Scrubber
Main power box with (4) ENI RF generators
DELTA RF Generator rack with (3) RFPP generators
APPLIED MATERIALS '0' Heat exchanger
Front and rear monitor
(3) EBARA Pumps: 50x20
(2) EBARA Pumps: 40x20
Mini controller
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是由軟件和硬件制造商AMAT, Inc.設計和發布的一種反應堆。AMAT P-5000是芯片制造商用來進行高質量光刻工藝的工具。它利用遮罩暴露和沈積過程在基板表面上創建精確的圖樣。APPLICED MATERIALS P 5000是一種高功率、全自動的機器，由500瓦放電燈供電，具有配方控制的晶圓傳輸系統。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000的智能設計使用戶能夠輕松切換10種不同的光刻工藝,包括光刻和蝕刻。AMAT P5000能夠產生直徑小至50納米的圖樣。它還提供手動和自動曝光以及允許用戶選擇光刻曝光途徑的功能。P 5000以高效可靠的性能以及直觀的用戶界面而聞名。其主要部件包括機器人手臂、曝光平臺、控制模塊和石英曝光容器。機器人手臂確保將基板和口罩精確地放置到曝光室中。曝光平臺提供可變孔徑大小,用於與掩模配合使用時的精確圖案。控制模塊允許精確的曝光控制、聚焦和晶圓傳輸速度調整。最後，石英曝光容器設計為在操作過程中不受化學和熱效應的影響。AMAT P 5000是需要其工具精確可靠曝光的芯片制造商的絕佳選擇。它的特點和靈活性使用戶能夠快速準確地執行一系列光刻操作。其強大的設計使其成為最多300 mm晶片的可靠解決方案,為需要精確、可重復陣列處理的芯片制造商提供了高度的靈活性。最後,其用戶友好的界面以及與現有軟件和硬件系統的兼容性使其易於融入生產環境。
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