二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9184961 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種材料沈積和退火設備,設計用於先進材料的工業規模沈積和退火。AMAT P-5000反應器是一種真空室式、熱隔離、高溫、超高真空特殊工藝系統,用於沈積和退火各種材料,包括金屬、合金和非金屬。APPLICED MATERIALS P 5000反應器的設計可以同時處理多達四個材料層,並具有自動化的、可重復的結果,從而提高材料的沈積和退火效率。P5000反應器室的設計旨在最大限度地減少加熱基板和真空室內部的熱泄漏,並配有高效擴散泵,以保持真空壓力在低-10^-1至中-10^-6 torr的範圍內。腔室采用不銹鋼制成,配有檢視口、真空口,以及多種用於存放各種基材和樣品的樣品架和感光板。除了擴散泵外,腔室還包括渦輪分子泵,供應多種氣體的儲氣罐,並由閉環壓力控制器控制。P 5000反應器是通過一系列沈積技術,包括化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)、電鍍和CVD/PVD/電鍍混合技術,生產矽化物、氧化物、氮化物和其他高度復雜的材料和合金的理想選擇。退火過程也可以在AMAT P5000現場完成。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000也能夠製造多層堆叠的材料,如無機介電材料和透明導體,具有多步和基板。P-5000提供準確、可重復的結果,並且可以同時處理不同的材料和層,每層生產的厚度可達0.5微米。綜上所述,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應器是一種專門為各種材料的工業規模沈積和退火而設計的真空室單元。該機器能夠形成矽化物、氧化物、氮化物以及其他材料和合金,可重復和自動化的結果可同時達到四層,厚度可達0.5微米。AMAT P 5000提供了效率、精度和可擴展性的無與倫比的組合,使其成為大規模生產先進材料的理想選擇。
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