二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9185352 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高性能等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)反應器。該反應器能夠生產多種薄膜塗層,可用於多種應用。它配備了一種創新的氣體輸送設備,能夠使用各種氣體進行操作,並配備了先進的等離子體動力系統,能夠在高溫和沈積速率下運行。AMAT P-5000利用負載鎖定裝置裝載和卸載材料。這樣就不需要任何操作員幹預,並確保產品不會暴露於惡劣的過程環境中。絕緣室包含兩個電極,這些電極連接到高壓電源以產生等離子體。APPLIED MATERIALS P 5000使用氣流控制機精確調節氣流進入腔室。此工具能夠實時測量流速、溫度和壓力,以確保最佳流程操作。流控資產還可以為一致的薄膜沈積提供精確和可重復的工藝條件。P-5000是一種高度通用的反應器,能夠處理所有類型的底物。它具有先進的溫度控制模型,能夠在整個基板表面進行均勻加熱以實現均勻的膜沈積。P5000還能夠在大面積和不同的線速下以高速率沈積薄膜,從而在薄膜中達到所需的厚度和均勻性。應用材料P-5000反應堆非常適合用於半導體和光電子、平板顯示器、MEMS和光伏等行業以及研發環境。UHV腔室和堅固可靠的設備設計使其成為需要全面過程控制、精確溫度控制和可靠結果的應用的絕佳選擇。這是一個易於使用、成本效益高的系統,非常適合需要精確薄膜沈積的各種工業和研究應用。
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