二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9185355 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種設計用於化學氣相沈積(CVD)和原子層沈積(ALD)應用的高性能過程反應器。這種低成本、高效率的設備為具有挑戰性的沈積應用提供了出色的一致性、可靠性和可重復性。設計用於銅、矽、鎢、鋁等材料的沈積。AMAT P-5000反應堆包含一個垂直對齊的反應室,每次使用都可以方便地獲取和預測結果。此緊湊系統采用模塊化設計,易於組裝和維護。該室采用不銹鋼水冷套件設計,能夠在環境和真空條件下運行。反應室還包含一個不銹鋼化學蒸汽噴射機,允許用戶精確控制工具內氣體的化學成分。一個自動沈積閥裝在腔內,用於調節化學蒸氣向反應腔內的供應。該閥具有直觀的可編程軟啟動機制和可調節的激活參數,允許用戶通過簡單的調整激活參數來調節化學蒸氣的流動。APPLICED MATERIALS P 5000反應堆還設有一個升空石英視圖板。該板用於檢查塗層在沈積過程中的進展情況。用戶還可以在沈積完成後使用視圖板進行目視檢查。P-5000反應堆配備了強大可靠的電氣資產。該模型是為過程反應堆的安全準確運行而設計的。電氣設備包含內置溫度控制器和各種安全功能,如熱電偶和加熱器,以確保系統的安全運行。P 5000是CVD和ALD工藝的絕佳選擇。這種過程反應器是一種成本效益高、可靠的裝置,提供極好的均勻性和可重復性,確保可靠和一致的沈積結果。
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