二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9190859 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9190859
晶圓大小: 6"
優質的: 1992
Etcher, 6" 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000體現了新型反應堆工程的廣泛應用。它是一種全自動等離子體熱化學氣相沈積(PECVD)反應器,非常適合薄膜和塗層工藝。它是一種先進的設備,能夠在精確控制的情況下沈積各種材料。作為一個串聯的PECVD系統,它具有以速度、質量、可控性提供高吞吐量的能力。AMAT P-5000設計具有堅固可靠的工藝室,具有單一端口多用途設計。該端口是一個多用途模塊,配備了多種可選的基板介紹、樣品輸送、氣體輸送和取樣硬件。它的設計目的是在室內各種溫度和壓力範圍內提供受控的溫度和精確的沈積速率。該腔室可通過精確的溫度控制來維持低壓和高壓。該腔室采用加固陶瓷墻設計,確保其耐用性和壽命長。它還具有精確的等離子體控制和精確的溫度測量功能。APPLIED MATERIALS P 5000配備了多軸機器人,用於精確的基板控制。控制單元由一個精密的基於PLC的機器人控制器組成,集成到反應堆機器中。為多軸基板定位提供精確的驅動和精確的運動控制。此外,精密的PLC控制器可以控制沈積參數,包括溫度、壓力、基板尺寸、沈積面積、沈積角度和氣體流量。該反應堆具有高性能運動控制器,可配置多個刀尖,用於不同的基板尺寸、角度和位置特征。它還具有高級軟件,包括易於使用的圖形用戶界面(GUI)。就一般操作性能而言,P5000配備了先進的溫度控制工具,能夠實現準確和可重復的沈積結果。它還提供了卓越的過程重復性、實時圖像分析、單一配方的高重復性和寬廣的沈積窗口。此外,這種強大的資產不僅提高了生產效率,而且顯著降低了組件成本和產品周轉時間。簡而言之,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一種自動PECVD反應器,非常適合薄膜和塗層應用,確保精確控制和卓越性能。
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