二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9193401 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種完全集成的多室蝕刻設備,專為各種應用而設計,包括先進的芯片制造、內存設備制造和太陽能電池制造。該系統由AMAT P-5000蝕刻反應堆、PX噴嘴和舷外真空裝置三個主要部件組成。APPLICED MATERIALS P 5000蝕刻反應器配備先進的等離子體和真空技術，為加工參數提供精確的控制和統一。該反應堆配置了三環腔室設計，允許高效的等離子體生成和圖案化蝕刻過程。整體的腔室設計也創造了短而淺的工藝時間，使得機器適合高通量的應用。該工具還提供了一系列可加工的氣體和氣體混合物，允許各種材料系統的蝕刻。PX噴嘴是資產在蝕刻和沈積過程中的主要輸送模型。這種安排為流程開發和執行提供了廣泛的靈活性，允許以精確控制的方式引入氣體、混合物和蝕刻/沈積材料。該噴嘴還執行溫度和壓力控制，以及反應堆溫度監測和均勻性。這樣可以確保整個會議廳保持關鍵工藝條件。舷外真空設備是一個外部系統，配有節流閥、壓力傳感器、高真空泵等部件。該單元負責直接控制腔室內的工作壓力、高壓氣體引入、氣體的裝載和輸送以及工藝支撐。這確保了工作基板的快速、高效和可靠的加工。總體而言，AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000反應堆是一種先進的蝕刻機，設計用於精確調節先進電子設備、內存設備和太陽能電池的生產。該工具提供了高度的過程靈活性、統一的處理參數和快速、高效的操作。因此，這一資產為各種材料系統的蝕刻提供了可靠和有效的平臺。