二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9193408 待售

ID: 9193408
晶圓大小: 8"
Robots, 8" O-Rings Motors: 0020-7657-C-CDSL.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種高精度的工藝工具,設計用於先進的半導體應用和材料研究。它具有250°C至1100°C的溫度,以及一系列的加工氣體,包括純N2、O2和Ar。AMAT P-5000反應堆還具有高壓、低熱質量、高溫和低熱時間常數。APPLIED MATERIALS P 5000 Reactor是一種原位工具,能夠實現多種沈積速率,包括CVD和PVD工藝。它可以在垂直或水平模式下運行,可用於單晶、納米級和多層膜的沈積和快速熱處理。AMAT P5000 Reactor也適用於先進的半導體工藝開發和器件工程。AMAT P 5000反應器對於納米級薄膜和復雜多層的生產以及高密度集成電路的增長特別有用。它提供了出色的動力學和控制,允許對薄膜厚度、粗糙度和其他形態參數的控制。其大的腔室尺寸、低的熱質量、低的熱時間常數使其適合功能層材料的高通量生產。應用材料P-5000反應堆具有廣泛的可用工藝和工藝配方,能夠實現高沈積速率和優異的均勻性。它還能夠在侵略性條件下生產高速率薄膜。除了其廣泛的加工能力外,P 5000 Reactor是完全自動化的,可以很容易的整合到現有的製造線。P5000反應堆能夠在各種溫度和壓力條件下運行。它具有整個腔室均勻的溫度區,並利用主動冷卻來確保工藝條件的均勻性和穩定性。它還提供了一個用於直接加工或物料轉移的組件易於提升的集成提升系統。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反應器是一種先進的工藝工具,設計用於先進的半導體材料加工和研究。具有較高的沈積速率、均勻性和良好的動力學控制能力。它的大腔室尺寸、低熱質量、主動冷卻、集成提升系統使其適合廣泛的應用。
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