二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9194265 待售

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ID: 9194265
CVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種遠程等離子體沈積設備,用於向基板中添加薄層材料,以創建半導體、顯示器和其他光電器件等產品。AMAT P-5000是一種先進的多合一沈積室,具有集成的遠程等離子體,能夠在大批量制造和研發應用中對單層、多晶層和外延層進行高效的低溫處理。該系統能夠沈積範圍令人難以置信的廣泛的材料,從非晶矽(a-Si)tooxide(SiO2)到氮化物(Si3N4)。APPLIED MATERIALS P 5000是開發和沈積多種混合材料的通用工具,如電介質、金屬、陶瓷、絕緣體和半導體。應用材料P-5000提供市場上最大的沈積區之一。大腔室容納可旋轉和傾斜的單個、大的350x350mm2基板。AMAT P5000的設計允許低溫沈積,而不會使底物暴露於常規沈積的高溫。該單元還提供了良好的膜厚度均勻性和均勻沈積在整個表面的基板,具有典型的均勻性+/-3%在4基板上。AMAT P 5000提供了對其工藝的高級控制,以及一系列監測和控制沈積室內環境的選項。可通過AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000用戶界面輕松控制過程參數,並與公司現有的過程控制機器完全集成,以用於復雜的命令和控制過程。P 5000的設計最註重安全性,具有三鎖安全門和CE和UL認證。P-5000的設計以UL和CE準則為基礎,配有壓力和溫度傳感器以及防爆部件,確保其安全。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000遠程等離子體沈積工具是一種通用且高效的工具,用於在許多應用中沈積各種材料。先進的特點包括極好的均勻性、低溫沈積、全面的工藝控制和安全認證,使APPLIED MATERIALS P5000一種強大可靠的薄層材料沈積工具。
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