二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9195270 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種用於特殊電化學沈積或蝕刻操作的等離子體工藝反應器。該反應堆能夠提供高達50 kW的等離子體功率，腔室壓力高達2 × 10-3 torr。此外，這個過程反應堆包括一個集成的晶片裝載機和卸載機，集成的清潔系統和堅固的照明系統。AMAT P-5000反應堆有一個由金屬和陶瓷部件構成的工藝室，用於屏蔽靜電和高溫。腔室的金屬部件是氣密的，包括工藝和排氣室之間的全孔分離，以便有效地進行氣體外處理。應用材料P 5000反應堆在氫氣、氦氣、氮氣和氧氣等多種氣體環境中運行。此外，它還具有加工碳氟化合物、鹽酸和其他有機氣體的能力。反應器室具有單級PEM界面，同時在多個基板上進行沈積。沈積或蝕刻過程由低壓直流電流源控制。反應物是通過位於腔室外周周圍的註入口連續註入氣體。等離子體中的能量隨後指向底物。這種能量足以打破反應物和底物材料之間的鍵合，允許沈積過程。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應堆包括一個集成的晶片裝載系統，可一次裝卸多達12個基板。該系統使用的機器人臂旨在最大限度地減少人為幹預裝卸。集成的elctro-cleaning系統提供進程之間的快速清潔，照明系統在操作過程中提供視覺訪問。AMAT P5000是一種用途廣泛、功能強大的反應器，用於在廣泛的工業、研究和學術環境中進行復雜的電化學沈積或蝕刻過程。該反應堆適用於許多應用，如光刻、MEMS和半導體制造。